半導体や液晶工場に欠かせないクリーンルーム

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本社設備部 日田 康秀


クリーンルームとは、ホコリやチリなど空気中の浮遊物の個数が厳密に管理された空間を指します。
よく知られているのは、半導体や液晶工場でのクリーンルームでしょう。 求められる清浄さによって クラス分けがされていて、半導体は一番上のクラス。液晶はそれより少し下のクラスです。 例えば半導体の工程では7マイクロの線を引く作業があります。7マイクロというのは10のマイナス 7乗という細さですが、もしそこにチリがつくとショートするので不良製品になってしまう。 だから厳密な管理が必要なのです

工場でのチリ、ホコリはNG、塗料も厳しく制限

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 中島工業が設計や工事を担当しているのはクリーンルーム自体ではなく、クリーンルームを設置した 特殊プラントの設備配管が主体です。 当然、工事段階でもチリやホコリを出すことは許されません。 配管材料は徹底的に拭き上げ、衣服や身体から出るホコリを防ぐため作業はクリーンウェアを着て行います。 場合によっては塗料から出る化学物質も許されないので、乾く期間を含めて工事計画を立てないといけません。 一般の工場の工事に比べると非常に慎重で細やかな対応が求められるのです。

これからは医薬品工場での実績を

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 残念ながら半導体、液晶はアジア諸国との競争が激しく、日本国内に新たな工場がどんどんできるという 状況ではありません。これからクリーンルーム関連工事で有望なのは医薬品製造の分野です。 身体の中に入るものですから、クリーンルームで管理されているケースが多く、中島工業もあるワクチン 工場での配管工事に実績があります。 また、ある国立大学工学部の研究施設のスーパークリーンルームの 工事にも関わりました。 スーパーとつくだけあって、通常のクリーンルームよりもさらにクラスが上です。 今後もこうした実績を重ね ながら、次の世代のスタッフに技術継承をしていきたいと思っています。

日進月歩の半導体、工事のスピードもより速く

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 工期も厳しい場合が多く大変です。というのは半導体の技術革新は日進月歩ですから、新製品を次々と 出さないと競合メーカーに先を越されてしまいます。当然、製造ラインの工事に時間をかけるわけにはい きません。ひと昔前ならまず工場の建物をつくってから中の設備に取りかかっていましたが、今は同時 進行が基本。 建物をつくっている間に配管をつなぐ作業などを別の場所でやっておき、工場に入れるようになったら、 運び込んで一気に組み立てるわけです。 少しでも段取りを間違ったら、予定の工期にできません。 正直、胃が痛くなる工事が多いですが、そのぶん、半導体や液晶工場での工事のノウハウはかなり蓄積できました。